真空泵機(jī)組通常依據(jù)具體應(yīng)用需求，組合不同類型真空泵，或由一臺(tái)真空泵與至少一臺(tái)羅茨泵搭配構(gòu)成。常見(jiàn)配置為羅茨泵或渦輪分子真空泵與前級(jí)泵組合。
對(duì)于需要處理大量氣體的應(yīng)用，也可采用配備兩臺(tái)以上真空泵或兩臺(tái)羅茨泵的多級(jí)真空泵機(jī)組。真空泵機(jī)組中常用的前級(jí)泵類型包括：
旋片真空泵，單級(jí)或雙級(jí)
干式螺桿真空泵
渦旋真空泵
隔膜泵
比如普發(fā)、巖田、愛(ài)德華、安捷倫、中科科儀、金巽等
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