在高真空應用中，必須配備前級泵才能確保抽真空速度比單泵更快。這正是該真空泵機組的優勢所在。HiCube Neo 真空泵機組采用渦輪分子泵與干式或油潤滑前級泵的一體化設計。 其模塊化設計使其能夠實現低至 10-10 hPa (mbar) 的超高真空度。HiCube Neo 系列憑借直觀的操作界面、模塊化設計和低能耗特性，成為殘余氣體分析和真空爐等多種應用的理想解決方案。