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當(dāng)前位置:真空知識

離子泵如何提高對惰性氣體的抽氣效率?

發(fā)布日期:2026-4-1 10:07:21 訪問次數(shù):76

惰性氣體(如氬氣)不能通過化學(xué)吸附作用進行抽除;因此,必須將這些惰性氣體原子引向陽極,并在陽極被抽除。實現(xiàn)這一過程有兩種方式:使用更重的陰極材料(如鉭),或采用不同的幾何結(jié)構(gòu)(如 Triode 結(jié)構(gòu))。

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